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真空设备、薄膜工艺设备、材料生长设备、组装磁控溅射镀膜设备、电阻加热蒸发镀膜机、化学气象沉积镀膜机、多功能镀膜机、真空冶炼炉、仪器仪表、电子产品的研究、设计、开发;表面工程工艺材料、表面工程设备的研究

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